羅茨真空泵的抽氣速率是指單位時間內排出氣體的體積,常用單位為升·秒,接下來分享一下羅茨真空泵抽氣速率的測定方法:
  1、測定用具:試驗罩的結構尺寸在部頒標準JB1875-73中有詳細規定,試驗罩的內徑D應與羅茨真空泵的進口直徑相等。在測量抽氣速率的裝置中,使用的真空計應為座式壓縮真空計和油U型真空計,并經精度10%以上的壓縮式真空計校準,真空計的取氣口平面應與氣流方向平行。流量側量使用的流量計,在測量范圍內須具有二級精度。
  2、測定方法:羅茨真空泵抽氣速率的測定采用定壓法。在泵的進口處直接連接試驗罩,泵的出口與前級油封機械泵連接,在進口與出口處均設有真空計測量壓力,流量計經調節針閥與試驗罩相通。在啟動真空泵并達到穩定工況后,方可進行測量。從接近真空的適當值開始測定抽氣速率,一直測至泵的允許進口壓力附近為止。每一個數量級中至少測四點,其分布應基本符合1,2,5,7的比例,例如1xl0-2、2x10-2、5x10-2和7xl0-2四點。在測量過程中,每次調節針閥使其達到一定壓力后,至少經過3分鐘待真空計上壓力讀數平穩,才能記錄壓力數據。如果壓力有變化,則應采用在測量過程中的壓力平均值。
  羅茨真空泵的抽氣速率測定,因其用途不同而采用不同的測試方法和儀器。氣體流量小于5OTorr·L/s時,應采用低飽和蒸氣壓液體滴定管流址計,氣體流量大于50Torr·L/s時,應采用浮子流量計。
  小編:yy

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